由开山上海通用机械研究院自主研发的离心式双介质气体组合压缩机日前在江苏某全球领先的集成电路制造企业顺利完成调试并投入使用，各项参数达到设计要求，获得用户好评。

       

众所周知，半导体行业八大核心材料中，电子气体是仅次于硅的主要原材料，其在半导体晶圆制造材料价值中的占比为13.5%。电子气体在电子产品制造工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相、沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关，而高纯度/超高纯度氮是电子气体中极其重要的成员之一，其在惰性保护、载气、特种气体、管道吹扫排气、稀释、等离子注入等半导体生产工艺环节中都是不可或缺的原料气和工艺气。而离心式双介质气体组合压缩机组则是高纯氮生产工艺中的核心装备。长期以来其该类型压缩机市场一直由美国企业所垄断。

 

本次成功投运的机组是开山制造、完全自主知识产权的国产首台套该类型压缩机，其使用于一世界500强国际知名气体公司的制氮系统之中，这也是这家企业首次与中国压缩机厂商进行合作。本次投运成功，极大的提升了该公司高纯氮制备系统的市场竞争力。这是双方四年共同努力的结果。

 

与此同时，两套运用于国产高纯氮制备系统的该类型压缩机调试工作也已收尾，各项参数达到设计需求，甚至部分参数超越了设计需求.

 

过去二十年里，开山持续在核心技术上进行大强度投入，逐步在螺杆、透平、往复等各类型压缩机、膨胀机、真空泵等诸多领域构建起一定技术优势。在目前“国产化”需求日益高涨的背景之下，这种技术优势使得我们的中国用户不仅不会因“国产化”去牺牲所需设备的品质，反而“国产化”后获得了更可靠的产品质量和更低的能源消耗。而对于我们的国际用户则是发现以开山为代表的中国装备为他们带来了更大的获益。本次离心式双介质气体组合压缩机的投运成功只是前述文字一个小小的例证吧。